1. 反复定位精度
对任意一点在相同方向反复进行7次定位测定。该测定是在移动距离的中点及靠近两端的位置分别进行测定，在求出的值中以最大值为测定值，在该值的1/2前加上±号作为反复定位精度。
2. 定位精度
以有效行程为基准长度，计算从行程开始位置实际移动的距离与指令值之间的最大误差，以该值的觉对值作为定位精度。
3. 直线度
thk直线导轨直线度指本应直线移动的工作台偏离理想直线的程度。
4. 平行度
指工作台相对于工作台安装面（基准面）移动的平行程度。
5. 俯仰
指工作台在移动过程中，相对于行进方向的前后倾斜程度，以角度表示。
6. 偏转
指工作台在移动过程中，相对于行进方向的左右倾斜程度，以角度表示。
7. 旋转
指工作台在移动过程中，相对于行进方向的旋转程度，以角度表示。
8. 空程
指对某一位置在两个方向（前进和返回）进行定位时的再现性。精度＝1/7（t1+t2+……+t7）–1/7（t1’+t2’+……+t7’）
9. 无效行程使工作台作进给，以稍有移动时的数值为基准。从该状态开始，不通过进给装置，而是在工作台上施加同方向的恒定负荷，以开放时的读数与基准的差作为无效行程。
10. 垂直度
指正交的2轴中，本应垂直移动的工作台偏离理想直角的程度。
精度＝δ2 （不考虑直线度时）
精度＝δ1+δ3 （考虑直线度时）
11. 滞后现象
指前进路径和返回路径的直线度、定位精度等不同时的最大差。
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